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高精度:多重軟件分析法，多種應用模式，高精度運動系統; 高效率:一臺維修工作站確認多臺在線機的檢測數據，實現全自動化制程管控;
高精度：多重軟件分析法，多種應用模式，高精度運動系統； 高效率：一臺維修工作站確認多臺在線機的檢測數據，實現全自動化制程管控；
